MEMS-Magnetfeld-Gradienten Sensor

Projektbeschreibung: Eine neuartiges Gradienten-Magnetometer aus mikrobearbeitetem Silizium zum Erfassen von magnetischen Gradientenfeldern und statischen Magnetfeldern soll entwickelt, gefertigt und untersucht werden. Diese Vorrichtungen besteht aus einem H-förmigen Miniaturbalken aus kristallinem Silizium, die einen dünnen Leiter für elektrischen Wechselstrom tragen. Der Kern der Erfindung liegt in der Bestimmung einzelner Gradienten des Magnetfeldes über mechanischen Schwingungen einer in der Größe frei skalierbaren, mechanischen Struktur durch Lorentzkräfte. Das Wandlerprinzip zeichnet sich durch hohe Linearität und Skalierbarkeit ausDadurch entfällt die sonst bei der magnetischen Gradientenbestimmung notwendige Differenzbildung zweier Signale mit den damit einhergehenden systematischen Fehlern. Die Prototypenentwicklung der Erfindung soll es ermöglichen, die Sensitivität herkömmlicher Messsysteme um mindestens den Faktor 100 zu steigern.