Next generation heterointegration of ion sliced lithium niobate nanofilms enabled by novel characterization tools

Das Projektziel von H-iSlice ist die Integration von funktionalen Lithiumniobat (LNO) Nanofilmen auf Siliziumwafern, die sich durch einen maßgeschneiderten Kristallschnitt, einen hohen Kristallinitätsgrad, sowie hervorragende piezoelektrische Koeffizienten und gut definierte thermische Eigenschaften auszeichnen, und so, in Kombination mit mikroelektronischen Bauelementen, gänzlich neue Anwendungsfelder erschließen. Der Einfluss verschiedener Parameter des Produktionsprozesses auf die Zuverlässigkeit, Stabilität und Reproduzierbarkeit dieser LNO Nanofilme sowie auf die erreichbaren piezoelektrischen und thermischen Materialparameter wird umfassend erforscht. Um diese Materialparameter schnell und genau zu bestimmen, werden neuartige AFSEM^TM-basierte Messmethoden entwickelt. Hierzu werden neuartige, hochpräzise Tandemstrukturen von Mikrosonden, welche aus temperaturempfindlichen AFM-Spitzen zur lokalen Mikroerwärmung und lokalisierten hochauflösenden Temperaturmessung bestehen, entwickelt und in eine AFSEM^TM-Einheit implementiert.