Das Projektziel von H-iSlice ist die Integration von funktionalen Lithiumniobat (LNO) Nanofilmen auf Siliziumwafern, die sich durch einen maßgeschneiderten Kristallschnitt, einen hohen Kristallinitätsgrad, sowie hervorragende piezoelektrische Koeffizienten und gut definierte thermische Eigenschaften auszeichnen, und so, in Kombination mit mikroelektronischen Bauelementen, gänzlich neue Anwendungsfelder erschließen. Der Einfluss verschiedener Parameter des Produktionsprozesses auf die Zuverlässigkeit, Stabilität und Reproduzierbarkeit dieser LNO Nanofilme sowie auf die erreichbaren piezoelektrischen und thermischen Materialparameter wird umfassend erforscht. Um diese Materialparameter schnell und genau zu bestimmen, werden neuartige AFSEMTM-basierte Messmethoden entwickelt. Hierzu werden neuartige, hochpräzise Tandemstrukturen von Mikrosonden, welche aus temperaturempfindlichen AFM-Spitzen zur lokalen Mikroerwärmung und lokalisierten hochauflösenden Temperaturmessung bestehen, entwickelt und in eine AFSEMTM-Einheit implementiert.

Details

Projektzeitraum 01.01.2019 - 30.06.2021
Fördergeber FFG
Förderprogramm FFG
Department

Department für Integrierte Sensorsysteme

Zentrum für Verteilte Systeme und Sensornetzwerke

Projekt­verantwortung (Donau-Universität Krems) Priv.-Doz.Dipl.-Ing.Dr. Thilo Sauter

Publikationen

Kainz, A.; Beigelbeck, R.; Schmid, S. (2021). Modeling the Electrostatic Actuation of Nanomechanical Pillar Dimers. frontiers in Mechanical Engineering, online: 4/4

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