Thermische Sensoren und Aktuatoren

Department für Integrierte Sensorsysteme

Thermische Sensoren und Aktuatoren

Am DISS wird an neuartigen, „intelligenten“ thermischen Sensoren und Aktuatoren geforscht. Dies umfasst thermische Leitfähigkeitssensoren, thermische Strömungssensoren und Infrarotstrahlungsmesser (Bolometer). Begleitet werden die Entwicklungen von umfangreicher analytischer Modellierung und computernumerischen Simulationen, mikro- und nanotechnolgischer Sensorfertigung, problemangepasster Signalkonditionierung und optimierter Messdatenauswertung, sowie messtechnischer Verifikation und Charakterisierung der finalen Sensorbauelemente.

 

Die entwickelten Bauelemente werden in maßgeschneiderte elektronische Regelkreise eingebettet, um in weiterer Folge smarte Funktionalität zur Verfügung zu stellen. Hierzu gehören etwa die Auswertung des Gerätestatus inklusive Initialisierung und Funktionsüberprüfung, aber auch die automatische Funktionsanpassung an geänderte Umgebungsbedingungen durch autonome Umschaltung des Messbereichs, sowie die autonome Rekalibrierung bei Wechsel des zu untersuchenden Mediums. Darauf basierend lassen sich moderne, integrierte, hochauflösende und präzise thermische Sensor- und Aktuatorbaugruppen mit erweiterten, sicherheitsrelevanten Funktionen realisieren, die sich hervorragend für den vielseitigen Einsatz in verteilten Sensorsystemen eignen, wie sie etwa in der Online-Prozessüberwachung bei Industrie 4.0 Anwendungen benötigt werden.

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