Mikro-Hybridsysteme

Department für Integrierte Sensorsysteme

Mikro-Hybridsysteme

Durch die Integration von mikro-mechanischen, elektrischen und optischen Systemen zu hybriden Mikrosystemen können einzigartige Charakteristiken bezüglich Auflösungsgrenzen, dynamischen Bereichen und Empfindlichkeiten von Sensoren und Aktuatoren erreicht werden.

Das Zentrum für Integrierte Sensor Systeme optimiert und entwickelt hybride Mikrosysteme unter Einbeziehung der Expertise und des Know-How der Mitarbeiter auf unterschiedlichen technischen Gebieten, wie z.B. Physik, Technologie und Elektrotechnik.

Aktuell richtet sich ein Forschungsschwerpunkt auf optische MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme). Das Zentrum hat auf diesem Gebiet ein Wandlerprinzip entwickelt, welches zum Messen von Auslenkungen, Vibrationen und Beschleunigungen eingesetzt werden kann. Das Prinzip basiert auf der Modulation eines Lichtflusses durch ein Mikrosystem. Mit kostengünstigen optoelektronischen Komponenten wurden Labormuster entwickelt, welche Auslenkungen von einigen µm mit Auflösungen von sub pm/√Hz (entspricht sub μg/√Hz für Beschleunigungen) aufnehmen können.

Die angestrebten Anwendungsgebiete reichen von integrierten akustischen Beschleunigungssensoren für medizinische Zwecke über die Aufzeichnung von seismischen Aktivitäten bis hin zur Positionsbestimmung ohne Referenzsystem.

Die Forschungsschwerpunkte für die weitere Entwicklung sind:

  • die Untersuchung der Auflösungsgrenzen in Bezug auf differentielle Auslenkung der Komponenten
  • die Umsetzung besonderer Übertragungseigenschaften durch das Design der Modulator-Öffnungen
  • die Übertragung des Wandlerprinzips auf neue Sensoranwendungen
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