Department für Integrierte Sensorsysteme

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Kainz, A.; Hortschitz, W.; Steiner, H.; Schalko, J.; Jachimowicz, A.; Keplinger, F. (2017). Accurate analytical model for air damping in lateral MEMS/MOEMS oscillators. Sensors and Actuators A-Physical, 255: 154-159

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